羅茨泵的   真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的   真空。為了提高泵的   真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過(guò)排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時(shí)，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然。當轉子繼續轉動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內，有二個(gè)“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉的運動(dòng)。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有一段的間隙，可以實(shí)現高轉速運行。

羅茨真空泵的特點(diǎn)是：?jiǎn)?dòng)快，耗功少，運轉維護費用低，抽速大、，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感，在100～1帕壓力范圍內有較大抽氣速率，能排除突然放出的氣體。這個(gè)壓力范圍恰好處于油封式機械真空泵與擴散泵之間。因此，它常被串聯(lián)在擴散泵與油封式機械真空泵之間，用來(lái)提高中間壓力范圍的抽氣量。這時(shí)它又稱(chēng)為機械增壓泵。

羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制，以及化工、食品、醫藥工業(yè)中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面。真空泵配件為用于真空泵噪聲治理的，真空泵消音器。