羅茨泵是一種無(wú)內壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。
靠泵腔內一對葉形轉子同步、反向旋轉的推壓作用來(lái)移動(dòng)氣體而實(shí)現抽氣的真空泵。
羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵,此泵不可以單獨抽氣,前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。
它的結構和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似,工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統主抽泵相接。這種真空泵的轉子與轉子之間、轉子與泵殼之間互不接觸,
羅茨泵的 真空除取決于泵本身結構和制造精度外,還取決于前級泵的 真空。為了提高泵的 真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內,再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過(guò)排氣口邊緣,v0空間與排氣側相通時(shí),由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強突然。當轉子繼續轉動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內,有二個(gè)“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉的運動(dòng)。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一段的間隙,可以實(shí)現高轉速運行。
(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;
(2)轉子具有良好的幾何對稱(chēng)性,故振動(dòng)小,運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可降低驅動(dòng)功率,從而可實(shí)現較高轉速;
(3)泵腔內無(wú)需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統的污染;
(4)泵腔內無(wú)壓縮,無(wú)排氣閥。結構簡(jiǎn)單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
(5)壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;
(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線(xiàn)柱面,加工和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在較快的發(fā)展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)了廣泛的應用。 [